Feuilles de graphite pyrolytique pour la croissance du silicium monocristallin de l'industrie des semi-conducteurs
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Feuilles de graphite pyrolytique pour la croissance du silicium monocristallin de l'industrie des semi-conducteurs

Le graphite pyrolytique est du carbone pyrolytique à orientation cristalline élevée déposé par dépôt chimique en phase vapeur sur un substrat en graphite entre 1 800 °C et 2 000 °C sous une certaine pression de four d'hydrocarbure gazeux de haute pureté.Il présente une densité élevée (2,20 g/cm ), une pureté élevée (teneur en impuretés 0,0002 %) et une anisotropie des propriétés thermiques, électriques, magnétiques et mécaniques.Il peut encore maintenir un vide de 10 mmHg à environ 1 800 °C.
État de disponibilité:
Quantité:


Exemples d'applications du graphite pyrolytique :


1. La vitesse de chauffage du réchauffeur PG/PBN est extrêmement rapide et le taux de dégazage est extrêmement faible.Ce matériau chauffant est un matériau chauffant idéal pour les industries des semi-conducteurs et les applications nécessitant un vide poussé, une température élevée et une pureté élevée.Par exemple : chauffage de substrat semi-conducteur (MBE, MOCVD, PVD, CVD, etc.), chauffage de substrat supraconducteur, four de recuit rapide, chauffage d'échantillon au microscope électronique, source de chaleur par évaporation de métal, chauffage de buse de chauffage à gaz, etc.


2. Le graphite pyrolytique présente des caractéristiques exceptionnelles telles qu'une faible densité, une température élevée, une résistance élevée, une bonne résistance à l'ablation et une excellente résistance aux chocs thermiques.C'est un matériau de revêtement de gorge idéal pour les moteurs de missiles tactiques.


3. Le graphite pyrolytique est un matériau de préparation de grille à faisceau d'ions très courant, qui présente les caractéristiques d'une grande pureté, d'un faible taux de corrosion et d'une dilatation thermique limitée.Le rôle de la grille du faisceau d'ions est d'extraire les ions dans le plasma de la chambre de décharge à travers une série de grilles électrostatiques comportant de nombreux petits trous disposés de manière précise.


4. Le creuset PG présente les avantages d'une grande pureté, d'une compacité, d'une faible perméabilité à l'air (identique au verre), d'une résistance aux températures élevées, d'une résistance à la corrosion acide et alcaline, d'une résistance au refroidissement soudain et aux changements brusques de chaleur, et d'un lavage facile.Les creusets PG sont supérieurs aux creusets en platine, en argent, en nickel et autres à certains égards.Principales applications du marché :

  • Application d'échantillons standards et de méthodes d'analyse standard

  • Préparation d'oxydes métalliques de haute pureté, placage ionique et autres domaines

  • Creuset de fusion pour la cuisson à la vapeur de l'aluminium dans l'industrie des semi-conducteurs

  • Cuves d'évaporation pour l'industrie OLED

  • L'application du revêtement PG, grâce à la méthode de revêtement, reflète les caractéristiques de haute densité, de faible taux de dégazage, de résistance à la corrosion et de résistance à l'oxydation du graphite pyrolytique, et est largement utilisée dans les domaines suivants :

  • Dans les équipements MOCVD, revêtement base graphite pour croissance épitaxiale GaN.

  • Revêtement de socle en graphite pour croissance épitaxiale de silicium monocristallin, socle plat, socle circulaire, socle tridimensionnel.

  • Revêtement de châssis en graphite pour four de frittage de dispositifs en silicium monocristallin.

  • Revêtements de surface sur radiateurs en graphite (panneaux chauffants, radiateurs ronds, cartouches chauffantes, etc.).

  • Revêtement graphite sagger pour frittage dans divers fours tunnel à oxyde.

  • Revêtement de base en graphite pour le frittage continu de la métallurgie des poudres




Les paramètres techniques du graphite pyrolytique sont les suivants :

Matériaux

LTPG

Densité

2,2 g/cm3

Résistance à la compression

≥ 85 Mpa (direction ab)

résistance à la traction

≥ 76 Mpa (direction ab)

Impureté

≤ 0,02 %

Conductivité thermique

0,9 K/cm.s.℃ (direction ab)

5*10-3 K/cm.s.℃ (direction c)

Coefficient de dilatation thermique

3,2*10-6/℃ (direction ab)

Hermétique

Transmission de l'hélium <10-10 cm2

Espacement inter-grains

≤ 3,42A


sur: 
En vertu d'un: 
En tant que fière filiale du groupe LT, LT Graphite possède quatre bases de production situées au centre de la Chine, dans la province du Henan, et une succursale de production dans la province du Sichuan.

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